- 专利标题: 具有P顶层与N能阶的半导体装置及其制造方法
- 专利标题(英): Semiconductor device with P top layer and N energy level and manufacturing method of semiconductor device
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申请号: CN201310044236.0申请日: 2013-02-04
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公开(公告)号: CN103972286A公开(公告)日: 2014-08-06
- 发明人: 詹景琳 , 林镇元 , 林正基 , 连士进
- 申请人: 旺宏电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/739 ; H01L29/861 ; H01L21/336 ; H01L21/331 ; H01L21/329
摘要:
本发明公开了一种具有P顶层与N能阶的半导体装置,包括:一P衬底;一高电压N阱,其设置于该P衬底中;一第一P阱,其形成于具有一第一P+掺杂区的该P衬底中;一第二P阱,其形成于具有一第二P+掺杂区的该HVNW中,其中该第二P+掺杂区邻近于一N+掺杂源极区;以及一分离的N能阶及P顶区,其设置于该HVNW中;其中该分离的N能阶及P顶区具有由散布于多个N能阶区段之间的多个P顶区段所定义的一或多层,N能阶及P顶层由序列且分离设置的N型及P型扩散区段所定义。本发明也提供制造此半导体装置的方法。
公开/授权文献
- CN103972286B 具有P顶层与N能阶的半导体装置及其制造方法 公开/授权日:2017-02-08
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