MEMS麦克风构件和具有该MEMS麦克风构件的设备
摘要:
本发明提出一种容性MEMS麦克风构件,其能够可选地运行用于检测声学信号(麦克风模式)或用于检测在限定的频率范围中的超声波信号(超声波模式)。在MEMS麦克风构件的层结构中至少两个承载元件相叠地并相互间隔开地构造,至少两个承载元件用于电容器装置的两个电极侧,该电容器装置用于信号检测。这两个承载元件中的至少一个是声压敏感的,两个电极侧中的至少一个包括能相互独立地电接触的至少两个电极区段,至少两个电极区段连同另一电极侧的至少一个电极形成相互独立的子电容,如果声压敏感的承载元件以限定的频率的超声波被激励进行更高模式的振动,则电极区段的形状和平面延展通过声压敏感的承载元件的振动波腹的位置和延展确定。
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