发明授权
CN104703080B MEMS麦克风构件和具有该MEMS麦克风构件的设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: MEMS麦克风构件和具有该MEMS麦克风构件的设备
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申请号: CN201410717696.X申请日: 2014-12-01
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公开(公告)号: CN104703080B公开(公告)日: 2019-08-16
- 发明人: C·谢林 , R·舍本 , R·艾伦普福特
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 郭毅
- 优先权: 102013224718.4 2013.12.03 DE
- 主分类号: H04R1/08
- IPC分类号: H04R1/08 ; H04R31/00
摘要:
本发明提出一种容性MEMS麦克风构件,其能够可选地运行用于检测声学信号(麦克风模式)或用于检测在限定的频率范围中的超声波信号(超声波模式)。在MEMS麦克风构件的层结构中至少两个承载元件相叠地并相互间隔开地构造,至少两个承载元件用于电容器装置的两个电极侧,该电容器装置用于信号检测。这两个承载元件中的至少一个是声压敏感的,两个电极侧中的至少一个包括能相互独立地电接触的至少两个电极区段,至少两个电极区段连同另一电极侧的至少一个电极形成相互独立的子电容,如果声压敏感的承载元件以限定的频率的超声波被激励进行更高模式的振动,则电极区段的形状和平面延展通过声压敏感的承载元件的振动波腹的位置和延展确定。
公开/授权文献
- CN104703080A 微机电系统麦克风构件和具有所述微机电系统麦克风构件的设备 公开/授权日:2015-06-10