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公开(公告)号：CN118828325A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410459637.0
申请日：2024-04-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明涉及一种微机械膜片系统，所述微机械膜片系统具有第一膜片和第二膜片和布置在所述第一膜片与所述第二膜片之间的间距元件。至少一个间距元件具有第一支承元件和第二支承元件。第一支承元件面向第一膜片。第二支承元件面向第二膜片。第一支承元件和第二支承元件经由弹簧元件连接。
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公开(公告)号：CN112840186B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201980069520.9
申请日：2019-10-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于在光谱仪（100）中使用的干涉仪元件（125），其中，所述干涉仪元件（125）具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件（FPI1、FPI2），所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件（135）、第二镜元件（140）和第三镜元件（145），所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件（125）的光路（120）中，并且其中，所述第一镜元件（135）与所述第二镜元件（140）之间的第一间距（160）和/或所述第二镜元件（140）与所述第三镜元件（145）之间的第二间距（165）能够被改变。
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公开(公告)号：CN108083224B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201711180689.0
申请日：2017-11-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： C·谢林
Abstract: 本发明涉及一种MEMS构件，具有第一衬底和第二衬底，该第一衬底具有在第一侧上的至少一个第一绝缘层和至少一个第一金属化部，该第二衬底具有在第二侧上的至少一个第二绝缘层和至少一个第二金属化部，其中，第二衬底具有微机械功能元件，该微机械功能元件与第二金属化部导电连接。本发明的核心在于，第一侧和第二侧彼此贴靠地布置，其中，第一绝缘和第二绝缘层相互连接，其中，第一金属化部和第二金属化部相互连接。本发明也涉及一种用于制造MEMS构件的方法。
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公开(公告)号：CN111630434B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201980011227.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械反射镜装置、一种反射镜系统以及一种用于制造微机械反射镜装置的方法。该反射镜装置构造有：平面地构造的第一反射镜元件（10）；平面地构造的第二反射镜元件（20）；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）基本上平面平行地布置；其中，在所述第一和第二反射镜元件（10、20）之间的中间空间（40）具有比所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）更小的折射率；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）局部地通过至少一个支撑结构（130）彼此间隔开地布置；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）在垂直于所述第一和第二反射镜元件（10、20）布置的轴向方向（A）上与所述第一和第二反射镜元件（10、20）重叠；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）具有如下一种材料或者由如下材料构成，所述材料与构成所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）的材料不同。
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公开(公告)号：CN113960561A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202110748802.0
申请日：2021-07-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01S7/481 , G01S7/483 , G01S7/491 , G01S17/931
Abstract: 单芯片激光雷达模块包括激光器、光电二极管、光子集成电路(PIC)、透镜和外壳。该激光器被配置成输出预定波长的光。该光电二极管被配置成检测预定波长的光能。该PIC与激光器和光电二极管耦合，并且与MEMS开关阵列集成，该MEMS开关阵列包括被配置成衍射预定波长的光的光学天线。该透镜被布置在PIC上方。该外壳被配置成包围激光器、光电二极管和PIC，并且具有被配置成使与PIC相关联的光通过的窗口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113196021A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980082495.8
申请日：2019-12-06
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种光谱仪设备（1a），其具有：光学干涉滤光器（2），所述光学干涉滤光器被构造为：在入射光线（L）穿过所述光学干涉滤光器（2）时对所述入射光线的特定的波长范围进行滤波；探测装置（3），所述探测装置被构造为探测经滤波的光线（L）；和聚焦装置（4a），所述聚焦装置具有反射表面（5），其中所述聚焦装置（4a）被构造为：通过在所述表面（5）上的反射来使所述经滤波的光线（L）聚焦到所述探测装置（3）上。
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公开(公告)号：CN106375919B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201610584852.9
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
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公开(公告)号：CN108083224A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711180689.0
申请日：2017-11-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： C·谢林
CPC classification number: B81B7/0006 , B81B2201/0235 , B81B2207/012 , B81C1/00095 , B81C1/00301 , B81C2203/0118 , B81C2203/0792 , B81B7/02 , B81B2201/0228 , B81C1/00015 , B81C2203/03
Abstract: 本发明涉及一种MEMS构件，具有第一衬底和第二衬底，该第一衬底具有在第一侧上的至少一个第一绝缘层和至少一个第一金属化部，该第二衬底具有在第二侧上的至少一个第二绝缘层和至少一个第二金属化部，其中，第二衬底具有微机械功能元件，该微机械功能元件与第二金属化部导电连接。本发明的核心在于，第一侧和第二侧彼此贴靠地布置，其中，第一绝缘和第二绝缘层相互连接，其中，第一金属化部和第二金属化部相互连接。本发明也涉及一种用于制造MEMS构件的方法。
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公开(公告)号：CN103731783A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310472910.5
申请日：2013-10-11
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R23/00 , H04R7/14 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2410/03
Abstract: 本发明涉及一种用于实现在相对较小的芯片面积的情况下具有高测量灵敏度的电容式MEMS麦克风的方案。所述器件的微机械麦克风结构以层结构实现并且包括至少一个声压敏感的膜片结构、一个声学穿透的对应元件和一个用于检测膜片结构的偏转的电容器装置，所述膜片结构能够基本上垂直于层结构的层平面偏转，所述对应元件具有通孔并且以层结构构造在膜片结构的上方/下方。根据本发明，膜片结构包括至少一个基本上垂直地从膜片平面伸出的结构元件，所述结构元件根据膜片结构的偏转程度或多或少地伸入对应元件的相应成形和设置的通孔中。结构元件设置在膜片结构的中间区域中。
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公开(公告)号：CN119071703A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410687534.X
申请日：2024-05-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: MEMS换能器，用于与流体相互作用，包括：至少三个彼此上下布置的MEMS层结构的层堆叠，有源MEMS层结构形成在下部与上部MEMS层结构之间；形成在有源MEMS层结构中的片，片能够至少区段式地横向偏转以与流体相互作用；驱动装置，用于使可运动的片沿垂直于层序列的横向方向至少区段地偏转，驱动装置具有下部和/或上部电极结构，其与有源MEMS层结构邻接地构造在下部和/或上部MEMS层结构上。为了将电压施加到上部和/或下部电极结构上设置敷镀通孔，其与形成在有源MEMS层结构中的接触元件导电地连接。接触元件与上部和下部MEMS层结构机械地连接，且与上部和/或下部电极结构的至少一个驱动电极导电地连接，且在敷镀通孔之外的区域中与上部和下部MEMS层结构的衬底电绝缘。
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