半导体元件及其制造方法
摘要:
本发明提供一种半导体元件及其制造方法。半导体元件包括衬底、存储元件以及选择晶体管。存储元件位于衬底上。选择晶体管位于衬底上且与存储元件电连接。选择晶体管包括选择栅极、第一介电层以及第二介电层。选择栅极位于衬底上。第一介电层与第二介电层相邻,且位于选择栅极与衬底之间。第一介电层比第二介电层邻近存储元件,且第一介电层的厚度大于第二介电层厚度。
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