- 专利标题： 陶瓷加热器和具有增强的晶片边缘性能的ESC
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申请号： CN201610625498.X申请日： 2016-08-02
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公开(公告)号： CN106449503B公开(公告)日： 2022-12-06
- 发明人: 林兴 , 周建华 , Z·J·叶 , 陈建 , J·C·罗查-阿尔瓦雷斯
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 侯颖媖
- 优先权： 62/202,656 20150807 US
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; C23C16/44 ; C23C16/513 ; C23C16/458
摘要：
本公开的实施方式提供一种用于支撑基板的改进的静电卡盘。所述静电卡盘包括：卡盘主体，所述卡盘主体耦合到支撑杆，所述卡盘主体具有基板支撑表面；多个突片，所述多个突片远离所述卡盘主体的所述基板支撑表面突出，其中所述突片绕所述卡盘主体圆周设置；电极，所述电极嵌入在所述卡盘主体内，所述电极从所述卡盘主体的中心径向地延伸到超出所述多个突片的区域；以及RF电源，所述RF电源通过第一电连接耦合到所述电极。
公开/授权文献
- CN106449503A 陶瓷加热器和具有增强的晶片边缘性能的ESC 公开/授权日：2017-02-22
IPC分类:
