基于棱镜分光移相的斐索型同步移相干涉测试装置
摘要:
本发明提供一种基于棱镜分光移相的斐索型同步移相干涉测试装置,包括沿光路方向依次放置干涉系统、棱镜分光移相系统和成像系统,来自激光器的光进入干涉系统,用四分之一波片前表面作为参考面,透射光来回二次经过四分之一波片与反射光形成带有被测件信息的正交偏振光;正交的偏振光进入棱镜分光移相系统,分成三束相位偏差依次为0,π/2和‑π/2的平行正交偏振光;最后进入成像系统,在缩束后经过偏振片再经成像物镜成像到探测器上形成三幅干涉条纹。本发明能有效防止环境振动的干扰,具有光能利用率高,结构紧凑,系统误差小的特点。
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