等离子体约束环、等离子体处理装置与基片处理方法
摘要:
本发明公开了一种可提高等离子体处理全局均匀性的等离子体约束环、等离子体处理装置与处理方法。其中,该等离子体约束环包括呈环形的壁体,所述壁体所环绕的空间用于约束等离子体于其内,所述壁体包括:呈环形的内壁,由导体或半导体材料制成;呈环形的外壁,由电绝缘材料制成。
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