- 专利标题: 采用铝硅共晶薄膜辅助干法刻蚀制备黑硅层的方法
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申请号: CN201710216551.5申请日: 2017-04-05
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公开(公告)号: CN106981543B公开(公告)日: 2018-05-22
- 发明人: 黄建 , 姜华男 , 杨修伟 , 廖乃镘 , 袁安波
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 申请人地址: 重庆市南岸区花园路14号电子44所
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 当前专利权人地址: 重庆市南岸区花园路14号电子44所
- 代理机构: 重庆辉腾律师事务所
- 代理商 侯懋琪; 侯春乐
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0236 ; H01L31/028
摘要:
本发明公开了一种采用铝硅共晶薄膜辅助干法刻蚀制备黑硅层的方法,所述方法的步骤为:1)提供硅片;对硅片表面进行清洗;2)硅片上用于制作黑硅层的区域记为操作区;采用电子束蒸发镀膜工艺或磁控溅射镀膜工艺,在操作区表面生长铝硅共晶薄膜;3)采用等离子刻蚀工艺对铝硅共晶薄膜中的硅进行选择性刻蚀,将铝硅共晶薄膜中的硅刻蚀掉;4)利用铝硅共晶薄膜中残留的铝作为掩膜,采用等离子刻蚀工艺对操作区上的硅进行选择性刻蚀,从而在操作区上形成黑硅层;5)采用等离子刻蚀工艺对所述掩膜进行选择性刻蚀,将掩膜刻蚀掉,然后对黑硅层进行清洗。本发明的有益技术效果是:能制作出形貌优良的黑硅层。
公开/授权文献
- CN106981543A 采用铝硅共晶薄膜辅助干法刻蚀制备黑硅层的方法 公开/授权日:2017-07-25
IPC分类: