发明授权
- 专利标题: 开关元件
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申请号: CN201710138580.4申请日: 2017-03-09
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公开(公告)号: CN107180864B公开(公告)日: 2020-07-14
- 发明人: 添野明高 , 妹尾贤 , 久野敬史 , 桑野聪 , 柿本规行 , 金丸俊隆 , 桥本健太 , 利田祐麻
- 申请人: 丰田自动车株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 丰田自动车株式会社
- 当前专利权人: 丰田自动车株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京金信知识产权代理有限公司
- 代理商 苏萌萌; 范文萍
- 优先权: 2016-046094 2016.03.09 JP
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06
摘要:
本发明涉及一种开关元件,并提供一种能够抑制第一金属层产生裂纹的情况,并能够确保开关元件的耐压,且能够降低开关元件导通时的电阻的技术。设置有在半导体基板的上表面上以网眼状延伸的沟槽(栅电极),半导体基板的上表面被层间绝缘膜覆盖。在元件范围内的层间绝缘膜上,于各个单元区的上部设置有接触孔,在围绕范围内,于各个单元区内上表面整体被层间绝缘膜覆盖。第一金属层对层间绝缘膜进行覆盖,并且在接触孔的上部具有凹部。绝缘保护膜对围绕范围内的第一金属层的外周侧的部分进行覆盖。第二金属层在绝缘保护膜的开口内对第一金属层进行覆盖。在围绕范围内设置有延伸至各个沟槽的下侧并与体区导通的第二导电型区域。
公开/授权文献
- CN107180864A 开关元件 公开/授权日:2017-09-19
IPC分类: