- 专利标题: 基于纳米线结构的高效发光二极管的制备方法
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申请号: CN201710610925.1申请日: 2017-09-05
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公开(公告)号: CN107394022B公开(公告)日: 2019-01-15
- 发明人: 张进成 , 杜金娟 , 许晟瑞 , 吕玲 , 郝跃 , 李培咸 , 陶鸿昌 , 林志宇 , 张金风
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 代理机构: 陕西电子工业专利中心
- 代理商 王品华; 朱红星
- 主分类号: H01L33/20
- IPC分类号: H01L33/20 ; H01L33/00 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种基于纳米线结构的高效发光二极管及制备方法,主要解决传统LED中空穴注入效率不高而引起的发光效率低的问题。其包括:c面蓝宝石衬底层(1)、高温AlN成核层(2)、n型GaN层(3)、AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱(4)、p型GaN层(5)和电极(6),其中多量子阱包括五个周期,Al含量x和y由镓源和铝源的流量控制,以获得不同波长的LED,之后利用金属在高温下的蠕变现象形成金属球作为阻挡层,在量子阱上以均匀间隔刻蚀纳米槽,使p型GaN层镶嵌生长在纳米槽内,以提高p型GaN和量子阱的接触面积,有利于空穴的注入,本发明提高了发光效率,可用于紫外及深紫外发光二极管的制作。
公开/授权文献
- CN107394022A 基于纳米线结构的高效发光二极管及制备方法 公开/授权日:2017-11-24
IPC分类: