本发明的课题是提供下述感放射线性组合物，其将显示酚醛塑料交联反应性的硅氧烷聚合物作为基础树脂，其分辨率优异，且能够高精度地形成所期望形状的图案。本发明的解决方法是一种感放射线性组合物，其包含作为硅烷的水解性硅烷、其水解物或其水解缩合物、以及光产酸剂，该水解性硅烷包含式(1)和式(2)所示的水解1 2 3 1性硅烷。RaRbSi(R)4‑(a+b) 式(1)〔,式(1)中，R是式(1‑2)所示的有机基团，且R1通过Si‑C键或Si‑O键与硅原子结合。R2表示有机基团。R3表示水解性基团。〕R7cR8dSi(R9)4‑(c+d) 式(2)〔,式(2)7 7中，R是式(2‑1)所示的有机基团，且R通过Si‑C键与硅原子结合。R8是有机基团，且R8通过Si‑C