一种基于光衍射的柔性透明碳电极制备方法
Abstract:
本发明属于微钠制造相关技术领域,其公开了基于光衍射的柔性透明碳电极制备方法,该方法包括以下步骤:(1)提供基底,并在所述基底上旋涂一层负性的光刻胶;(2)将掩膜设置在所述光刻胶上,并进行曝光处理,所述掩膜上设置有网格图形,所述网格图形呈矩形,其四个角部分别连接有大尺寸图形;(3)采用显影液对曝光后得到的样品进行显影后,再进行清洗以得到光刻胶悬浮网格;(4)将步骤(3)得到的样品在保护气体氛围下进行热解,并进行剥离以得到独立的整片碳网格结构,即柔性透明碳电极。本发明通过一次曝光即可获得光刻胶悬浮网格,工艺简单,参数容易控制,成品率较高。
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