发明公开
- 专利标题: 树脂材料蚀刻处理用组合物
- 专利标题(英): Composition for etching treatment of resin material
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申请号: CN201810130955.7申请日: 2014-10-16
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公开(公告)号: CN108179402A公开(公告)日: 2018-06-19
- 发明人: 永峰伸吾 , 北晃治 , 大塚邦显
- 申请人: 奥野制药工业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 奥野制药工业株式会社
- 当前专利权人: 奥野制药工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吴胜周
- 优先权: 2013-219456 2013.10.22 JP
- 主分类号: C23C18/16
- IPC分类号: C23C18/16 ; C08J7/14 ; C09K13/00 ; C09K13/04 ; C23C18/20 ; C23C18/24 ; C23C18/28 ; C23C18/30 ; C23C18/32 ; C23C18/38 ; C23F1/14 ; C23F3/02 ; C25B1/28 ; C25D5/14 ; H01L21/02 ; H01L21/306
摘要:
本发明提供了一种树脂材料蚀刻处理用组合物,所述组合物包含具有0.2mmol/L以上的高锰酸根离子浓度和10mol/L以上的总酸浓度的水溶液,并且所述水溶液满足以下条件(1)至(3)中的至少一个:(1)含有量为1.5mol/L以上的有机磺酸,(2)将二价锰离子摩尔浓度设置为高锰酸根离子摩尔浓度的15倍以上,(3)将无水镁盐的添加量设置为0.1至1mol/L。本发明的蚀刻处理用组合物是不含有六价铬并具有出色的蚀刻性能和良好的浴稳定性的组合物。
公开/授权文献
- CN108179402B 树脂材料蚀刻处理用组合物 公开/授权日:2020-09-25
IPC分类: