树脂镀敷方法以及树脂镀敷用蚀刻浴的管理方法

    公开(公告)号:CN110344033A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201910680850.3

    申请日:2015-04-24

    IPC分类号: C23C18/24 C23C18/20

    摘要: 本发明涉及树脂镀敷方法以及树脂镀敷用蚀刻浴的管理方法,在使用以锰为有效成分的蚀刻浴的树脂镀敷方法中,提供即使在连续使用时也能维持稳定的蚀刻性能的方法。一种树脂镀敷方法,其为将含有树脂材料的物品作为被处理物使用,包括利用含有锰的酸性蚀刻浴的蚀刻工序、使用钯作为催化剂金属的催化剂赋予工序、和无电镀工序的树脂镀敷方法,其特征在于,还包括将该酸性蚀刻浴中的钯浓度维持在100mg/L以下的工序。

    树脂镀敷方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106471156B

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN201580036806.9

    申请日:2015-04-24

    IPC分类号: C23C18/24 C23C18/30

    摘要: 在使用以锰为有效成分的蚀刻浴的树脂镀敷方法中,提供即使在连续使用时也能维持稳定的蚀刻性能的方法。一种树脂镀敷方法,其为将含有树脂材料的物品作为被处理物使用,包括利用含有锰的酸性蚀刻浴的蚀刻工序、使用钯作为催化剂金属的催化剂赋予工序、和无电镀工序的树脂镀敷方法,其特征在于,还包括将该酸性蚀刻浴中的钯浓度维持在100mg/L以下的工序。