一种基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法
摘要:
本发明公开一种基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法,包括如下步骤;步骤110:准备工作;步骤120:工件初加工;步骤130:涂覆透明薄膜;步骤140:检测薄膜厚度;步骤150:中途换刀;步骤160:加工完成。本发明提供的基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法,实现了超大面积、高质量、高均一性微结构的切削加工。
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