- 专利标题: 一种基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法
-
申请号: CN201810163877.0申请日: 2018-02-27
-
公开(公告)号: CN108381258B公开(公告)日: 2019-05-21
- 发明人: 周天丰 , 阮本帅 , 唐龙龙 , 周佳 , 梁志强 , 焦黎 , 刘志兵 , 谢丽静 , 颜培 , 王西彬
- 申请人: 北京理工大学
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
- 专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所
- 代理商 王海燕
- 主分类号: B23Q3/16
- IPC分类号: B23Q3/16
摘要:
本发明公开一种基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法,包括如下步骤;步骤110:准备工作;步骤120:工件初加工;步骤130:涂覆透明薄膜;步骤140:检测薄膜厚度;步骤150:中途换刀;步骤160:加工完成。本发明提供的基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法,实现了超大面积、高质量、高均一性微结构的切削加工。
公开/授权文献
- CN108381258A 一种基于在位膜厚测量的大面积微结构切削中途换刀方法 公开/授权日:2018-08-10