场致发射电子源、其制造方法和电子束装置
摘要:
本发明提供可稳定地加热闪蒸的六硼化物单结晶场致发射电子源,因此,本场致发射电子源具包括:金属丝(107)、与其接合的金属管(108)、发射电子的六硼化物电极头(104)、独立于金属管和六硼化物电极头的石墨片(109),六硼化物电极头配置成因石墨片而在结构上不与金属管接触,且具有六硼化物电极头、石墨片和金属管机械接触且电接触的结构。
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