Invention Grant
- Patent Title: 一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法
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Application No.: CN201810602746.8Application Date: 2018-06-12
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Publication No.: CN108896235BPublication Date: 2020-05-26
- Inventor: 赵玉龙 , 张国栋 , 赵云 , 韦学勇 , 王馨晨 , 任炜 , 张蕊 , 张方 , 李慧
- Applicant: 西安交通大学
- Applicant Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Agency: 西安智大知识产权代理事务所
- Agent 贺建斌
- Main IPC: G01L9/06
- IPC: G01L9/06

Abstract:
一种MEMS柔性锰铜‑康铜复合式超高压力传感器及其制造方法,复合式超高压力传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及其对应的四个第一电极,以及康铜敏感元件及其对应的四个第二电极,锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极,康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极,锰铜敏感元件、康铜敏感元件、第一电极、第二电极的表面上覆盖有绝缘层;锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用螺旋式中心对称分布,基底和绝缘层均采用聚酰亚胺材料;本发明复合式超高压力传感器具有精度高、响应快、输出信号大等特点。
Public/Granted literature
- CN108896235A 一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法 Public/Granted day:2018-11-27
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