一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法
Abstract:
一种MEMS柔性锰铜‑康铜复合式超高压力传感器及其制造方法,复合式超高压力传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及其对应的四个第一电极,以及康铜敏感元件及其对应的四个第二电极,锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极,康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极,锰铜敏感元件、康铜敏感元件、第一电极、第二电极的表面上覆盖有绝缘层;锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用螺旋式中心对称分布,基底和绝缘层均采用聚酰亚胺材料;本发明复合式超高压力传感器具有精度高、响应快、输出信号大等特点。
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