一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN109163837B

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201811094096.7

    申请日:2018-09-19

    Abstract: 一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法,传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件及第一电极;康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极;康铜敏感元件及第一电极的表面上覆盖有绝缘层;绝缘层上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及第二电极;锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极;锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用上下对齐方式布置,第二电极与第一电极采用横轴线垂直方式布置,锰铜敏感元件及第二电极的表面上涂覆有保护层;传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点,适用于多工况下微尺度装药爆轰压力的测量,也可以拓展到其他微尺度轴对称动态高压流场压力的测量。

    一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法

    公开(公告)号:CN108896235B

    公开(公告)日:2020-05-26

    申请号:CN201810602746.8

    申请日:2018-06-12

    Abstract: 一种MEMS柔性锰铜‑康铜复合式超高压力传感器及其制造方法,复合式超高压力传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及其对应的四个第一电极,以及康铜敏感元件及其对应的四个第二电极,锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极,康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极,锰铜敏感元件、康铜敏感元件、第一电极、第二电极的表面上覆盖有绝缘层;锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用螺旋式中心对称分布,基底和绝缘层均采用聚酰亚胺材料;本发明复合式超高压力传感器具有精度高、响应快、输出信号大等特点。

    一种微尺度火工品燃烧温度场测量装置及其测温方法

    公开(公告)号:CN107202651B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201710543078.1

    申请日:2017-07-05

    Abstract: 一种微尺度火工品燃烧温度场测量装置及其测温方法,包括图像采集光路系统,机械安装装置,计算机及软件。图像采集光路系统包括中性密度滤光片、成像镜头、高速摄影机;机械安装装置包括避光安装箱,窗口固定环,导轨,滑块,支撑杆,夹具,摄影机安装平台等;计算机及软件包括计算机,数据传输线,测温处理软件等。其中中性密度滤光片在400‑700nm波段内均匀滤光,可以提高测温上限,防止光强太大无法测量。成像镜头和高速摄影机用来采集图像信号,避光安装箱可以防止环境杂光的影响,导轨,滑块,支撑杆,夹具,摄影机安装平台等可以固定各元器件,保证测量对准;计算机及软件可以在标定和测量的时候对图像进行处理。

    一种微尺度火工品发火温度测量装置

    公开(公告)号:CN110726490B

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201911085382.1

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 一种微尺度火工品发火温度测量装置,包括单晶硅基底,单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层,二氧化硅绝缘层上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元及与铂微结构换能元连接的第一电极,第一电极作为铂微结构换能元的电压输入端;同时在铂微结构换能元中间利用MEMS工艺溅射铂温度敏感元件,铂温度敏感元件和第二电极连接,铂温度敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极形成四线制测量法;本发明将成熟的MEMS加工工艺与铂材料电阻温度特性进行相结合,具有敏感元件尺寸小、线性度好、测量精度高等特点。

    一种超高压力场测量装置

    公开(公告)号:CN108680290A

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201810651040.0

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 一种超高压力场测量装置,包括爆炸容器,爆炸容器的上腔体与下腔体通过腔体通道透光,下腔体侧壁上开有一个透光窗口;爆炸容器的上腔体内底部装有有机玻璃垫块,有机玻璃垫块的上部中心的圆柱凹槽内放有基于硫化锌的敏感元件,有机玻璃垫块的上方安装有垫片壳体,垫片壳体中心安装有垫片;垫片壳体的上方安装有装药壳体,装药壳体的中心下方安装有装药体,装药体通过伸出装药壳体的引线引爆;爆炸容器的下腔体内放置有一块平面反射镜,爆炸容器外部放置有通过数据线连接的相机与计算机;相机的镜头对准爆炸容器下腔体的透光窗口;本发明通过基于硫化锌的敏感元件可以实现小尺寸超高压力场的测量。

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