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公开(公告)号：CN109163837B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201811094096.7
申请日：2018-09-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法,传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件及第一电极；康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极；康铜敏感元件及第一电极的表面上覆盖有绝缘层；绝缘层上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及第二电极；锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极；锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用上下对齐方式布置，第二电极与第一电极采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件及第二电极的表面上涂覆有保护层；传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点，适用于多工况下微尺度装药爆轰压力的测量，也可以拓展到其他微尺度轴对称动态高压流场压力的测量。
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公开(公告)号：CN110726490B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201911085382.1
申请日：2019-11-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种微尺度火工品发火温度测量装置，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元及与铂微结构换能元连接的第一电极，第一电极作为铂微结构换能元的电压输入端；同时在铂微结构换能元中间利用MEMS工艺溅射铂温度敏感元件，铂温度敏感元件和第二电极连接，铂温度敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极形成四线制测量法；本发明将成熟的MEMS加工工艺与铂材料电阻温度特性进行相结合，具有敏感元件尺寸小、线性度好、测量精度高等特点。
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公开(公告)号：CN110793715A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911141002.1
申请日：2019-11-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种微型超高压力传感器动态标定装置，包括靶板装置，靶板装置上固定有微型超高压力传感器，微型超高压力传感器上方设置有飞片驱动装置，飞片驱动装置的飞片输出口与微型超高压力传感器的敏感元件对准，飞片驱动装置与靶板装置通过螺栓连接；飞片驱动装置包括壳体，壳体通过限位孔结构从上到下依次固定有微雷管、飞片和加速膛；靶板装置包括底座，底座上通过限位孔结构固定有承压块；本发明采用MEMS工艺实现飞片的微型化与薄膜化，从而满足飞片尺寸与微型超高压力传感器敏感元件尺寸相近的要求，提高了微型超高压力传感器动态标定曲线的精度，且标定装置的成本低，适用于微型超高压力传感器的动态标定。
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公开(公告)号：CN108120542B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201711344619.4
申请日：2017-12-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L5/14
Abstract: 一种微尺度装药爆轰压力动态测试系统，包括小型爆炸容器，小型爆炸容器与对准装置粘贴；对准装置将螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器、微尺度装药体和PCB转接板对准；微尺度装药体的输入端和多通道高速同步脉冲恒流源的触发端连接，多通道高速同步脉冲恒流源的触发端通过同轴电缆和示波器的输入端连接，多通道高速同步脉冲恒流源的输出端接螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器的输入端，螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器的输出端接示波器的输入端，示波器的输出端接计算机的输入端；敏感元件所占面积在直径0.2mm圆形范围内；螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器的基底、对准装置以及小型爆炸容器的载物台采用同种有机玻璃；本发明实现微小型火工品爆轰压力的精确测量。
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公开(公告)号：CN107024304B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710207291.5
申请日：2017-03-31
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种应力衰减结构的超高压力传感器，包括金属承压元件，金属承压元件的上部为截面逐渐变大的锥形体，外界压力直接作用在锥形体顶部最小的受压面上；金属承压元件的下部为截面积均匀的柱体，并在柱体侧面对称加工有两个侧平面，一个侧平面安装有力敏芯片，力敏芯片通过其上设有的惠斯通电桥和两个转接板连接，两个转接板关于力敏芯片上下对称布置，转接板上的电信号通过引线输出，通过金属承压元件在有限的弹性范围和有限的受压面积之上扩大压力的测量范围，增加压力的测量上限，可测量压力达2GPa。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108680290A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810651040.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种超高压力场测量装置，包括爆炸容器，爆炸容器的上腔体与下腔体通过腔体通道透光，下腔体侧壁上开有一个透光窗口；爆炸容器的上腔体内底部装有有机玻璃垫块，有机玻璃垫块的上部中心的圆柱凹槽内放有基于硫化锌的敏感元件，有机玻璃垫块的上方安装有垫片壳体，垫片壳体中心安装有垫片；垫片壳体的上方安装有装药壳体，装药壳体的中心下方安装有装药体，装药体通过伸出装药壳体的引线引爆；爆炸容器的下腔体内放置有一块平面反射镜，爆炸容器外部放置有通过数据线连接的相机与计算机；相机的镜头对准爆炸容器下腔体的透光窗口；本发明通过基于硫化锌的敏感元件可以实现小尺寸超高压力场的测量。
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公开(公告)号：CN108680290B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810651040.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种超高压力场测量装置，包括爆炸容器，爆炸容器的上腔体与下腔体通过腔体通道透光，下腔体侧壁上开有一个透光窗口；爆炸容器的上腔体内底部装有有机玻璃垫块，有机玻璃垫块的上部中心的圆柱凹槽内放有基于硫化锌的敏感元件，有机玻璃垫块的上方安装有垫片壳体，垫片壳体中心安装有垫片；垫片壳体的上方安装有装药壳体，装药壳体的中心下方安装有装药体，装药体通过伸出装药壳体的引线引爆；爆炸容器的下腔体内放置有一块平面反射镜，爆炸容器外部放置有通过数据线连接的相机与计算机；相机的镜头对准爆炸容器下腔体的透光窗口；本发明通过基于硫化锌的敏感元件可以实现小尺寸超高压力场的测量。
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公开(公告)号：CN108120542A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711344619.4
申请日：2017-12-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L5/14
Abstract: 一种微尺度装药爆轰压力动态测试系统，包括小型爆炸容器，小型爆炸容器与对准装置粘贴；对准装置将螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器、微尺度装药体和PCB转接板对准；微尺度装药体的输入端和多通道高速同步脉冲恒流源的触发端连接，多通道高速同步脉冲恒流源的触发端通过同轴电缆和示波器的输入端连接，多通道高速同步脉冲恒流源的输出端接螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器的输入端，螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器的输出端接示波器的输入端，示波器的输出端接计算机的输入端；敏感元件所占面积在直径0.2mm圆形范围内；螺旋式锰铜薄膜超高压力传感器的基底、对准装置以及小型爆炸容器的载物台采用同种有机玻璃；本发明实现微小型火工品爆轰压力的精确测量。
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公开(公告)号：CN108088591A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711344589.7
申请日：2017-12-15
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种分形式锰铜薄膜超高压力传感器，包括基底，基底上面通过MEMS技术溅射有敏感元件和电极，敏感元件的输入端和输出端分别连接两个电极，敏感元件和电极的表面上粘贴一层有机绝缘薄膜；敏感元件具有自相似的分形结构，采用锰铜靶材溅射而成，基底采用有机玻璃材料，有机绝缘薄膜选用聚四氟乙烯或聚酰亚胺；本发明具有高精度、响应快、输出信号大以及适用于微小尺度爆轰压力测量等特点，测试精度可达3％左右，适用于1～50Gpa量程范围内微尺度爆轰或冲击产生的超高压力的测量。
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公开(公告)号：CN110926281B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201911320021.0
申请日：2019-12-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于MEMS压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统，包括起爆装置，起爆装置下端和微尺度装药体上端连接固定，微尺度装药体下端和惰性介质上端固定，惰性介质下端和底板连接固定；微尺度装药体和惰性介质边缘嵌有MEMS压导探针，MEMS压导探针的引线从惰性介质和底板的界面引出；MEMS压导探针的引线、电阻以及恒压源组成一个电流回路；MEMS压导探针的引线与示波器的输入端连接；起爆装置与起爆器连接，起爆器通过电流环与示波器的输入端连接，示波器的输出端与计算机连接；MEMS压导探针可同时获得炸药爆速和介质冲击波初始速度，计算得到微尺度装药的爆速成长曲线以及端面输出爆压，适用于微尺度装药输出性能的测量，并提高测量精度。
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