一种基于量子点的电子鼻芯片及其设计方法
摘要:
本发明属于半导体器件与集成系统技术领域,具体公开了一种基于量子点的电子鼻芯片及其设计方法,其中设计方法包括以下步骤:(1)电子鼻芯片上气体传感器阵列的设计:(1-1)以量子点材料作为嗅觉受体材料,设计量子点气体传感器单元,设计得到在衬底上的电阻型或场效应晶体管型传感器单元;(1-2)基于量子点气体传感器单元设计采用MEMS或TFT器件结构的量子点传感器阵列;(2)设计信号处理单元与微控制单元。本发明使用量子点材料作为嗅觉受体材料,设计并制备微纳气体传感器,结合MEMS和TFT器件结构得到传感器阵列,并在芯片上集成包含模式识别算法的MCU和信号处理单元,可得到高灵敏、小体积、低功耗的量子点电子鼻芯片。
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