发明公开
CN109830372A 一种具有枝状电极结构的电容器及制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种具有枝状电极结构的电容器及制备方法
- 专利标题(英): Capacitor having dendritic electrode structure and preparation method
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申请号: CN201910207664.8申请日: 2019-03-19
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公开(公告)号: CN109830372A公开(公告)日: 2019-05-31
- 发明人: 王柯力 , 王延杰 , 王家乐 , 张霖 , 骆敏舟
- 申请人: 河海大学常州校区
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区晋陵北路200号
- 专利权人: 河海大学常州校区
- 当前专利权人: 河海大学常州校区
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区晋陵北路200号
- 代理机构: 南京纵横知识产权代理有限公司
- 代理商 严晓彪; 董建林
- 主分类号: H01G4/005
- IPC分类号: H01G4/005 ; H01G4/008 ; C23C18/48 ; C25D5/00 ; C23C28/02
摘要:
本发明公开了一种具有枝状电极结构的电容器,包括附着于基体膜两侧的表面电极;若干枝状电极置于基体膜内,其根部与表面电极相连。其枝状电极结构相比于特定微电容器的梳状电极结构,将电极宽度降低为数十纳米,增加了敏感电容相对变化量,提高了传感器性能;相比于现有的微电容器电极结构,大幅增加电极与电介质的接触面积,增加了微电容式传感器的敏感度;由于基体膜材料的柔韧性,该枝状电极结构同样适用于柔性的微电容器。其结构简单,工艺易操作,微电容器的电极结构更加微型化,适用于检测压力、位移、气体浓度等物理量,具有很强的实用性和广泛的适用性,特别是当使用Nafion膜作为基体膜时,可以制成性能优异的湿度传感器。