一种具有枝状电极结构的电容器及制备方法
摘要:
本发明公开了一种具有枝状电极结构的电容器,包括附着于基体膜两侧的表面电极;若干枝状电极置于基体膜内,其根部与表面电极相连。其枝状电极结构相比于特定微电容器的梳状电极结构,将电极宽度降低为数十纳米,增加了敏感电容相对变化量,提高了传感器性能;相比于现有的微电容器电极结构,大幅增加电极与电介质的接触面积,增加了微电容式传感器的敏感度;由于基体膜材料的柔韧性,该枝状电极结构同样适用于柔性的微电容器。其结构简单,工艺易操作,微电容器的电极结构更加微型化,适用于检测压力、位移、气体浓度等物理量,具有很强的实用性和广泛的适用性,特别是当使用Nafion膜作为基体膜时,可以制成性能优异的湿度传感器。
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