发明授权
- 专利标题： 谐振薄膜层、谐振器和滤波器
-
申请号： CN201910470766.9申请日： 2019-05-31
-
公开(公告)号： CN110190826B公开(公告)日： 2020-10-02
- 发明人: 林志东 , 谢祥政 , 罗捷 , 尚荣耀 , 朱庆芳 , 杨濬哲 , 侯汉成
- 申请人： 厦门市三安集成电路有限公司
- 申请人地址： 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
- 专利权人： 厦门市三安集成电路有限公司
- 当前专利权人： 泉州市三安集成电路有限公司
- 当前专利权人地址： 362343 福建省泉州市南安市石井镇古山村莲山工业区2号
- 代理机构： 北京超成律师事务所
- 代理商 吴迪
- 主分类号： H03H3/02
- IPC分类号： H03H3/02 ; H03H9/02 ; H03H9/13 ; H03H9/17 ; H03H9/54
摘要：
本申请提供一种谐振薄膜层、谐振器和滤波器，该谐振薄膜层包括第一电极层，设置在第一晶圆上；压电层，设置在所述第一电极层上；第二电极层，设置在所述压电层上；可调整层，设置在所述第二电极层上，配重图案，实施于所述可调整层上设置在所述第二电极层上，用于调整所述配重图案的不同重量，以调整所述谐振薄膜谐振薄膜层的不同工作频率。本申请实现了根据需要调整谐振薄膜层的配重图案，进而使不同的谐振薄膜层具有不同的工作频率。
公开/授权文献
- CN110190826A 谐振薄膜层、谐振器和滤波器 公开/授权日：2019-08-30
