具有分流区的沟槽栅IGBT器件及制备方法
摘要:
本发明涉及一种具有分流区的沟槽栅IGBT器件及制备方法,其在元胞沟槽槽底的正下方设置第二导电类型分流区,所述第二导电类型分流区包覆元胞沟槽的槽底;在元胞沟槽内填充有发射极金属以及栅极导电多晶硅,所述栅极导电多晶硅在元胞沟槽内位于发射极金属的外圈,发射极金属通过金属绝缘隔离体与栅极导电多晶硅绝缘隔离,栅极导电多晶硅通过绝缘栅氧化层与所在元胞沟槽的侧壁以及底壁绝缘隔离,填充在元胞沟槽内的发射极金属与所在元胞沟槽槽底下方的第二导电类型分流区欧姆接触。本发明能有效提升抗闩锁能力以及耐压能力,减小米勒电容,有效提高IGBT器件的开关效率,减低开关损耗。
公开/授权文献
0/0