发明公开
- 专利标题: 一种梳齿电容式微机电加速度计结构
- 专利标题(英): Comb tooth capacitive micro-electromechanical accelerometer structure
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申请号: CN201910998709.8申请日: 2019-10-18
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公开(公告)号: CN110806498A公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 牛昊彬 , 孙国良 , 王帅民 , 李博洋
- 申请人: 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区锦业路129号
- 专利权人: 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
- 当前专利权人: 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区锦业路129号
- 代理机构: 中国航空专利中心
- 代理商 杜永保
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125 ; G01P1/00
摘要:
本发明公开一种梳齿电容式微机电加速度计结构。结构包括梳齿组、质量块、挠性梁、挠性梁支撑杆和梳齿支撑杆。质量块为“日”字型框体结构,梳齿组为变间隙的梳齿组,构成梳齿组的单根梳齿为交叠区齿宽渐变的5边形齿。梳齿组交叉分布在质量块框体的内外两侧组成差分电容,梳齿组的可动齿与质量块相连,然后通过质量块框体四个角上的4根挠性梁悬挂在结构最外两侧的挠性梁支撑杆两端,梳齿组的固定齿与梳齿支撑杆相连。5边形齿可以在保持齿间隙比的同时增加齿对数,有利于提高加速度计的灵敏度。交叉分布的梳齿组可弥补刻蚀工艺不均匀带来的电容差异,提高电容对称性;还可以补偿差分电容受环境温度变化的影响,提高加速度计刻度系数的稳定性。
公开/授权文献
- CN110806498B 一种梳齿电容式微机电加速度计结构 公开/授权日:2022-01-07
IPC分类: