一种陶瓷气密封装器件及封装方法
摘要:
本发明公开了一种陶瓷气密封装器件及封装方法,陶瓷气密封装器件包括:陶瓷基板,设有贯穿所述陶瓷基板的上表面和下表面的通孔,陶瓷基板的通孔内部填充金属,通孔内的金属记为金属柱;芯片,设置在所述陶瓷基板上,芯片的焊盘通过键合线与所述陶瓷基板上的金属柱连接;管帽,设置在陶瓷基板上,管帽与陶瓷基板形成容纳芯片的气密结构;耦合结构,设置在管帽的背面,且位于需要耦合的芯片的上方;散热结构,设置在所述管帽的正面。本发明通过在管帽的正面设置散热结构,提高了散热性,提高了陶瓷封装器件性能;同时在管帽的背面,芯片的上方设置耦合结构,提高了芯片的耦合性,进一步的提高了陶瓷封装器件的性能。
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