微机械装置和相应的制造方法
摘要:
本发明实现一种微机械装置和一种相应的制造方法。微机械装置包括具有前侧(V)和后侧(R)的基础衬底(2);罩衬底(2a),其中,在所述基础衬底(2)的所述前侧(V)中构造具有不平整的侧壁(3a)的至少一个环绕的沟槽(3);其中,所述基础衬底(2)的所述前侧(V)和所述沟槽(3)涂覆有至少一个金属层(4、4a);其中,所述沟槽(3)的所述不平整的侧壁(3a)不一致地被金属(4、4a)覆盖,使得所述不平整的侧壁在垂直于所述前侧(V)走向的方向上不形成电流路径;并且,其中,在所述沟槽(3)的区域中在所述基础衬底(2)和所述罩衬底(2a)之间构造有封闭介质、尤其是密封玻璃封闭部(5)。
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