激光加工方法和激光加工系统
摘要:
一种激光加工方法,对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工,其中,该激光加工方法具有以下步骤:A.定位步骤,以使转印位置成为在光轴方向上从透明材料的表面起以规定的深度ΔZsf进入透明材料的内部后的位置的方式对转印像的转印位置进行定位;B.照射条件取得步骤;C.判定步骤,根据照射条件,判定透明材料的表面上的脉冲激光的最大注量是否在规定的范围内;以及D.控制步骤,在判定为最大注量在规定的范围内的情况下,容许脉冲激光的照射,其中,目标注量为与脉冲激光的光轴垂直的方向上的、转印位置处的射束的截面内的平均注量,将透明材料的表面上的射束的截面分割为多个小区域,最大注量为分割后的每个小区域的注量中的最大值。
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