发明公开
CN111417487A 激光加工方法和激光加工系统
无效 - 撤回
- 专利标题: 激光加工方法和激光加工系统
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申请号: CN201880076915.7申请日: 2018-01-24
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公开(公告)号: CN111417487A公开(公告)日: 2020-07-14
- 发明人: 诹访辉 , 柿崎弘司 , 小林正和 , 若林理
- 申请人: 极光先进雷射株式会社
- 申请人地址: 日本栃木县
- 专利权人: 极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人: 极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人地址: 日本栃木县
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 金玲; 黄纶伟
- 国际申请: PCT/JP2018/002152 2018.01.24
- 国际公布: WO2019/146021 JA 2019.08.01
- 进入国家日期: 2020-05-28
- 主分类号: B23K26/02
- IPC分类号: B23K26/02 ; B23K26/00 ; B23K26/382 ; B23K26/50
摘要:
一种激光加工方法,对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工,其中,该激光加工方法具有以下步骤:A.定位步骤,以使转印位置成为在光轴方向上从透明材料的表面起以规定的深度ΔZsf进入透明材料的内部后的位置的方式对转印像的转印位置进行定位;B.照射条件取得步骤;C.判定步骤,根据照射条件,判定透明材料的表面上的脉冲激光的最大注量是否在规定的范围内;以及D.控制步骤,在判定为最大注量在规定的范围内的情况下,容许脉冲激光的照射,其中,目标注量为与脉冲激光的光轴垂直的方向上的、转印位置处的射束的截面内的平均注量,将透明材料的表面上的射束的截面分割为多个小区域,最大注量为分割后的每个小区域的注量中的最大值。
IPC分类: