- 专利标题： 一种利用钽镀层进行微纳结构表面快速加热压印的方法
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申请号： CN202010248319.1申请日： 2020-04-01
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公开(公告)号： CN111423100A公开(公告)日： 2020-07-17
- 发明人: 周天丰 , 王子凡 , 朱展辰 , 王罡 , 阮本帅 , 刘朋 , 刘志兵 , 梁志强 , 王西彬
- 申请人： 北京理工大学
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村南大街5号
- 专利权人： 北京理工大学
- 当前专利权人： 北京理工大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村南大街5号
- 代理机构： 北京高沃律师事务所
- 代理商 张德才
- 主分类号： C03B11/08
- IPC分类号： C03B11/08
摘要：
本发明公开一种利用钽镀层进行微纳结构表面快速加热压印的方法，涉及微纳阵列光学元器件技术领域，首先在模具表面添加一层石墨烯，再增镀一层金属钽，石墨烯与钽在高温下结合生成碳化钽膜，然后对碳化钽膜通电，实现在玻璃模压过程中超精密辅助加热镀层的制作与使用。本发明可以实现高精度微纳阵列光学结构的加工，加工效率高，制造成本低，模具寿命长，具有极高的应用价值。
公开/授权文献
- CN111423100B 一种利用钽镀层进行微纳结构表面快速加热压印的方法 公开/授权日：2021-07-23
