发明公开
- 专利标题： 一种远程等离子体输送管以及远程等离子体处理设备
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申请号： CN202010991834.9申请日： 2020-09-18
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公开(公告)号： CN112259432A公开(公告)日： 2021-01-22
- 发明人: 金暻台 , 白国斌 , 高建峰 , 王桂磊 , 崔恒玮 , 丁云凌
- 申请人： 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人： 中国科学院微电子研究所,真芯(北京)半导体有限责任公司
- 当前专利权人： 中国科学院微电子研究所,真芯(北京)半导体有限责任公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构： 北京知迪知识产权代理有限公司
- 代理商 王胜利
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H01L21/67
摘要：
本发明公开一种远程等离子体输送管以及远程等离子体处理设备，涉及等离子体处理技术领域，以解决远程等离子体容易与等离子体输送管发生反应，产生副产物，从而导致最终的硅片成品率降低的技术问题。该远程等离子体输送管用于向工艺腔输送远程等离子体，远程等离子体输送管包括金属管，以及形成在所述金属管内壁的陶瓷结构，所述陶瓷结构用于隔离所述金属管与远程等离子体。远程等离子体处理设备包括上述技术方案所提供的远程等离子体输送管。
