本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方；所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成；所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点，八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性，内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动，该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态，将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态，有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响，显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性，提高了器件精度。