一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    IPC分类号: G01P15/125 B81B7/02

    摘要: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    IPC分类号: G01P15/125 B81B7/02

    摘要: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种电力变压器故障定位方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118641857A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410727094.6

    申请日:2024-06-06

    IPC分类号: G01R31/00 G01R31/62 G01R31/12

    摘要: 本申请公开了一种电力变压器故障定位方法、计算机设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品。该方法包括获取在测量面采集到的电力变压器辐射在声源面上的噪声信息,测量面与声源面平行,噪声信息包括噪声的声压、质点振速;通过近场声全息,基于噪声信息,建立与测量面平行的重建面;基于重建面,确定声源面上各点的声强;根据至少一个声源面上各点的声强,确定电力变压器的故障位置。采用本方法可以对电力变压器故障进行精准地识别和初步定位,达到提高电力变压器噪声源的识别精度的目的。