一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种用于测量感应电机定子故障的方法及系统

    公开(公告)号:CN112415389B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202011321195.1

    申请日:2020-11-23

    Abstract: 本发明提供了一种用于测量感应电机定子故障的方法,涉及电机故障诊断技术领域,所述方法包括:在感应电机静止的情况下,分别以电机不同相绕组作为通路,逆变器给定激励侧不同相单相激励驱动电压进行单相激励测试,在不同激励阶段下,电流传感器分别采集各阶段驱动器三相电流的稳态电流数值,将电流数值通过数据线传送到控制器,在控制芯片上根据采集各阶段驱动器三相稳态电流数值进行特征矢量计算,计算得到各阶段特征矢量,根据计算得到的特征矢量,进行故障指标计算,根据设定的阈值,判定故障指标是否超出阈值,即出现匝间短路故障,实现了能够确定造成感应电机以及功率型电机定子匝间短路的故障相,操作简便,具备良好的抗干扰能力。

Patent Agency Ranking