一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种确定多柱并联金属氧化物限压器均匀性的方法及系统

    公开(公告)号:CN113468468B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202110592905.2

    申请日:2021-05-28

    Abstract: 本发明公开了一种确定多柱并联金属氧化物限压器均匀性的方法及系统,包括:分别对多柱并联金属氧化物限压器进行冲击测试和直流电压测试,获取所述多柱并联金属氧化物限压器的冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集;分别对所述冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集进行z分数变换处理;计算经过z分数变换处理的冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集间的相关性系数;当所述相关性系数大于等于预设的相关性系数阈值时,根据经过z分数变换处理的冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集进行信息融合,以获取电流平均数据集;根据所述电流平均数据集计算均匀性系数,以根据所述均匀性系数确定所述多柱并联金属氧化物限压器的均匀性。

    一种间隙强制触发装置及交流可控避雷器

    公开(公告)号:CN112736647B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202011548505.3

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 本发明提供了一种间隙强制触发装置及交流可控避雷器。该装置包括:高电位端触发线圈、地电位端触发线圈、两个主电极和两个点火电极;其中,两个主电极之间具有主间隙,两个点火电极与两个主电极一一对应,并且,点火电极和对应的主电极之间具有点火间隙;高电位端触发线圈的两端分别与其中一个主电极、点火电极电连接,地电位端触发线圈的两端分别与另一个主电极、点火电极电连接。本发明利用可控避雷器自身作为触发能量源,通过高电位端触发线圈和地电位端触发线圈,当动作电流流过受控部分时产生电压触发脉冲,将输出电压引出至点火间隙处,在电压触发脉冲的作用下击穿点火间隙放电产生初始等离子体,击穿导通主间隙,使得受控部分短接。

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