- 专利标题: 柔性X射线探测器及其制备方法、三维柔性X射线探测器
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申请号: CN202110470823.0申请日: 2021-04-28
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公开(公告)号: CN113192991A公开(公告)日: 2021-07-30
- 发明人: 张琛 , 陈明 , 杨春雷 , 王忠国 , 王伟 , 胡明珠 , 张陈斌 , 宁德 , 闻权 , 王鄂豫
- 申请人: 深圳先进技术研究院 , 深圳市卓茂科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号;
- 专利权人: 深圳先进技术研究院,深圳市卓茂科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳先进技术研究院,深圳市卓茂科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号;
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 黄进
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H01L31/032 ; H01L31/18 ; G01T1/20
摘要:
本发明提供了一种柔性X射线探测器及其制备方法,该X射线探测器包括光电转换单元和闪烁体层;所述闪烁体层设置于所述光电转换单元上,用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元;所述光电转换单元的支撑衬底为柔性衬底,所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层,所述光电转换单元用于对所述闪烁体层转换出的荧光进行光电转换;其中,所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面,所述出光面连接至所述光电转换单元,所述入光面为与所述出光面相交的侧面。本发明的柔性X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性,并且采用不锈钢衬底实现超薄光电二级管阵列的制作,具有柔性和易折叠的特性。
公开/授权文献
- CN113192991B 柔性X射线探测器及其制备方法、三维柔性X射线探测器 公开/授权日:2022-11-01
IPC分类: