公开(公告)号：CN113192991B

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202110470823.0

申请日：2021-04-28

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  深圳市卓茂科技有限公司

发明人： 张琛 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  王忠国 ,  王伟 ,  胡明珠 ,  张陈斌 ,  宁德 ,  闻权 ,  王鄂豫

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  G01T1/20

摘要： 本发明提供了一种柔性X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括光电转换单元和闪烁体层；所述闪烁体层设置于所述光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；所述光电转换单元的支撑衬底为柔性衬底，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层，所述光电转换单元用于对所述闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；其中，所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与所述出光面相交的侧面。本发明的柔性X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性，并且采用不锈钢衬底实现超薄光电二级管阵列的制作，具有柔性和易折叠的特性。

公开(公告)号：CN113206120A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110488819.7

申请日：2021-04-30

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  深圳市卓茂科技有限公司

发明人： 王伟 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  张琛 ,  姚琳 ,  王忠国 ,  张陈斌 ,  胡明珠 ,  武双元 ,  杨佳伟 ,  宁德 ,  李伟民 ,  闻权 ,  王鄂豫

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L31/032 ,  H01L31/08 ,  H01L31/18 ,  A61B6/00 ,  G01T1/20 ,  G01T1/202

摘要： 本发明提供了一种多光谱型X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括：信号采集基底，与光电转换单元电连接，用于采集光电转换单元的电信号；光电转换单元，设置于信号采集基底上，用于对闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；闪烁体层，设置于光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；其中，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层；所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与出光面相交的侧面。本发明的多光谱型X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性。

公开(公告)号：CN113206120B

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202110488819.7

申请日：2021-04-30

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  深圳市卓茂科技有限公司

发明人： 王伟 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  张琛 ,  姚琳 ,  王忠国 ,  张陈斌 ,  胡明珠 ,  武双元 ,  杨佳伟 ,  宁德 ,  李伟民 ,  闻权 ,  王鄂豫

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L31/032 ,  H01L31/08 ,  H01L31/18 ,  A61B6/00 ,  G01T1/20 ,  G01T1/202

摘要： 本发明提供了一种多光谱型X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括：信号采集基底，与光电转换单元电连接，用于采集光电转换单元的电信号；光电转换单元，设置于信号采集基底上，用于对闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；闪烁体层，设置于光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；其中，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层；所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与出光面相交的侧面。本发明的多光谱型X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性。

公开(公告)号：CN113192991A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN202110470823.0

申请日：2021-04-28

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  深圳市卓茂科技有限公司

发明人： 张琛 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  王忠国 ,  王伟 ,  胡明珠 ,  张陈斌 ,  宁德 ,  闻权 ,  王鄂豫

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  G01T1/20

摘要： 本发明提供了一种柔性X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括光电转换单元和闪烁体层；所述闪烁体层设置于所述光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；所述光电转换单元的支撑衬底为柔性衬底，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层，所述光电转换单元用于对所述闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；其中，所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与所述出光面相交的侧面。本发明的柔性X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性，并且采用不锈钢衬底实现超薄光电二级管阵列的制作，具有柔性和易折叠的特性。

公开(公告)号：CN113675299A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110959636.9

申请日：2021-08-19

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  中国科学院深圳理工大学(筹)

发明人： 杨佳伟 ,  冯叶 ,  杨春雷 ,  张陈斌 ,  张玉萍 ,  彭燕君 ,  张琛 ,  王伟

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/032

摘要： 本发明提供了一种含锡的多元化合物光吸收层的制备方法，其包括：制备获得含锡的多元化合物光吸收层的前驱体材料层；使用脉冲激光对所述前驱体材料层进行激光热退火处理以使所述前驱体材料层发生重结晶，制备获得所述含锡的多元化合物光吸收层。本发明还公开了一种光电器件的制备方法，其中，所述光电器件中的光吸收层采用如上所述的含锡的多元化合物光吸收层的制备方法制备形成。本发明的技术方案，在含锡的多元化合物光吸收层的制备工艺中，引入了脉冲激光热处理工艺，利用脉冲激光热处理提高样品薄膜的瞬态温度，减少化合物薄膜材料在高温退火过程中的组分流失，特别是锡的流失，由此提高制备获得的光吸收层的品质。

公开(公告)号：CN112820751B

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202110180980.8

申请日：2021-02-09

申请人： 深圳先进技术研究院

发明人： 胡明珠 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  侯玉欣 ,  张琛 ,  王伟 ,  张杰 ,  宁德 ,  余洋

IPC分类号： H01L27/146 ,  G01T1/20

摘要： 本发明公开一种基于钙钛矿量子点的阵列式X射线探测器及其制备方法。所述阵列式X射线探测器包括：阵列式闪烁体屏，具有阵列分布的若干密封孔，每个所述密封孔中填充有钙钛矿量子点液体，所述密封孔的密封端透光且所述密封孔的侧壁不透光；图像传感器，设置于所述阵列式闪烁体屏的一端，用于接收钙钛矿量子点液体在X射线辐照下产生的可见光。通过将闪烁体层进行像素化处理，形成多个独立的探测单元，可以避免可见光相互干扰，在不增加探测器整体面积的前提下，可以探测更多束X射线，以提升成像的空间分辨率和灵敏度。

公开(公告)号：CN114005740A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202111244638.6

申请日：2021-10-25

申请人： 深圳先进技术研究院 ,  中国科学院深圳理工大学(筹)

发明人： 赵晨晨 ,  李伟民 ,  祁同庆 ,  王伟 ,  张琛 ,  周鸿飞 ,  冯叶 ,  李文杰 ,  马明 ,  杨春雷

IPC分类号： H01L21/203 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  C23C14/54 ,  C23C14/24 ,  C23C14/06

摘要： 本发明提供了一种铜铟镓硒薄膜的制备方法，包括步骤：S10、将基底加热至第一温度，在基底上共蒸铟、镓和硒；S20、提高基底的温度至第二温度，在基底上共蒸铜和硒；S30、保持基底的温度为第二温度，在基底上共蒸铟、镓和硒，获得铜铟镓硒薄膜；其中，步骤S10中硒的蒸气压为步骤S30中硒的蒸气压的4～8倍，步骤S20中硒的蒸气压为步骤S10中硒的蒸气压的2～8倍；步骤S10中铟和镓的蒸气压为步骤S30中铟和镓的蒸气压的4～8倍。本发明在三步共蒸发法制备铜铟镓硒薄膜的过程中，通过调控各个共蒸步骤的硒的蒸气压，可以使得共蒸设备的反应腔室的薄膜生长环境更加稳定从而有利于高质量薄膜的生长，并且还可以避免硒源的浪费从而能够更加准确地控制固态硒源的耗尽时间。

公开(公告)号：CN113036000A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202110203322.6

申请日：2021-02-24

申请人： 深圳先进技术研究院

发明人： 张陈斌 ,  冯叶 ,  杨春雷 ,  杨佳伟 ,  彭燕君 ,  张玉萍 ,  王伟 ,  张琛

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/032 ,  H01L31/101

摘要： 本发明提供的宽波段近红外探测器，包括依次层叠设置、钼背电极、CCZTSe吸收层、CdS缓冲层及窗口层，所述CCZTSe吸收层底部掺杂有NaF或KF或LiF或RbF或CsF；和/或；所述CCZTSe吸收层中间掺杂NaF或KF或LiF或RbF或CsF；和/或；所述CCZTSe吸收层上表面蒸镀有NaF或KF或LiF或RbF或CsF，由于在CCZTSe吸收层不同部位同时蒸镀一定量NaF或KF或LiF或RbF或CsF，由于NaF或KF或LiF或RbF或CsF可以促进吸收层晶粒尺寸增大，减少缺陷及晶界，提高探测器效率。另外，本发明还提供了宽波段近红外探测器的制备方法。

公开(公告)号：CN113035900A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202110216562.X

申请日：2021-02-26

申请人： 深圳先进技术研究院

发明人： 宁德 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  张琛 ,  王伟 ,  王忠国 ,  侯玉欣 ,  胡明珠 ,  郑雪 ,  李伟民 ,  钟国华

IPC分类号： H01L27/30 ,  G01T1/24

摘要： 本发明适用于电磁辐射探测器领域，公开了一种直接型电磁辐射探测器及制备方法，直接型电磁辐射探测器包括电极层、封装层、N型半导体层、吸光层、P型半导体层、透明导电层和基底，透明导电层、P型半导体层、吸光层、N型半导体层、封装层和电极层从下至上依次设于基底上，透明导电层沿垂直于电磁辐射的入射方向划分为若干个间隔设置的像素区域，电极层沿平行于电磁辐射的入射方向划分为若干个间隔设置的光电信号采集区域，透明导电层和电极层电性连接，该探测器能够同时利用若干个光电信号采集区域同时对若干个像素区域进行信息采集，从而能够提高探测器的灵敏度，因此，只需要少量的电磁辐射的使用剂量就能够实现高灵敏度探测。

公开(公告)号：CN112820751A

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN202110180980.8

申请日：2021-02-09

申请人： 深圳先进技术研究院

发明人： 胡明珠 ,  陈明 ,  杨春雷 ,  侯玉欣 ,  张琛 ,  王伟 ,  张杰 ,  宁德 ,  余洋

IPC分类号： H01L27/146 ,  G01T1/20

摘要： 本发明公开一种基于钙钛矿量子点的阵列式X射线探测器及其制备方法。所述阵列式X射线探测器包括：阵列式闪烁体屏，具有阵列分布的若干密封孔，每个所述密封孔中填充有钙钛矿量子点液体，所述密封孔的密封端透光且所述密封孔的侧壁不透光；图像传感器，设置于所述阵列式闪烁体屏的一端，用于接收钙钛矿量子点液体在X射线辐照下产生的可见光。通过将闪烁体层进行像素化处理，形成多个独立的探测单元，可以避免可见光相互干扰，在不增加探测器整体面积的前提下，可以探测更多束X射线，以提升成像的空间分辨率和灵敏度。