- 专利标题: 一种基于双吸收层结构的光探测器及其制备方法
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申请号: CN202110449838.9申请日: 2021-04-25
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公开(公告)号: CN113257942B公开(公告)日: 2023-03-03
- 发明人: 段晓峰 , 袁纬方 , 黄永清 , 刘凯 , 李珂 , 李玉 , 蔡世伟
- 申请人: 北京邮电大学
- 申请人地址: 北京市海淀区西土城路10号北京邮电大学
- 专利权人: 北京邮电大学
- 当前专利权人: 北京邮电大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区西土城路10号北京邮电大学
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 蒋娟
- 主分类号: H01L31/102
- IPC分类号: H01L31/102 ; H01L31/0224 ; H01L31/0304 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供一种基于双吸收层结构的光探测器及其制备方法,所述光探测器包括:由下至上依次形成的半绝缘InP衬底、InP缓冲层、刻蚀停止层、N接触层、收集层、第一带隙渐变的间隔层、第二带隙渐变的间隔层、双吸收层、第一组分与浓度渐变的电子阻挡层、第二组分与浓度渐变的电子阻挡层、P接触层、形成在所述刻蚀停止层上的n型接触电极以及形成在所述P接触层上的P型接触电极;所述双吸收层的厚度大于1μm,所述双吸收层为本征的光吸收层和P型光吸收层;本发明提供的光探测器具有高响应度、高带宽和低结电容等特点;同时相关工艺具有低成本、工艺简单、易于实现等优点。
公开/授权文献
- CN113257942A 一种基于双吸收层结构的光探测器及其制备方法 公开/授权日:2021-08-13
IPC分类: