本发明公开了一种工件缺陷的检测方法、装置和系统。其中，该方法包括：控制相控阵探头位于工件的初始检测位置；对检测范围内的工件的初始检测位置进行一维线性扫查，得到扫查结果；依据扫查结果，判断检测范围内的工件是否存在缺陷；若工件存在缺陷，则依据扫查结果确定工件的缺陷位置，再通过动态深度聚焦扫查对工件的缺陷位置进行深度聚焦，得到工件的缺陷位置的检测图像。本发明解决了相关技术中对于厚度较大的工件需要反复几次扫查才能全部检测完成，使得检测工作量大、效率低的技术问题。