晶体管及制作方法
摘要:
本发明公开了晶体管及制作方法。晶体管包括:依次层叠设置在基底上的窄带隙材料层、栅介质层和栅极,窄带隙材料层具有沟道区,位于窄带隙材料层远离基底一侧的膜层在沟道区具有台阶;源极和漏极,源极和漏极位于窄带隙材料层远离基底的一侧,且均与窄带隙材料层相接触,在源极和漏极中,至少漏极覆盖台阶,源极和漏极由金属材料形成。晶体管在关断状态时,漏极侧的能带变化平缓,缓解了漏极侧能带过度弯曲导致的势垒减薄,抑制了漏极载流子的反向隧穿,减小了关态漏电流,降低了晶体管的功耗,提高了晶体管的开关比;在导通状态时漏极侧能带的平缓变化,减少了载流子对漏极的冲击,减少了漏极的热迁移,使晶体管的结构更加可靠、使用寿命增长。
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