- 专利标题: 一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统
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申请号: CN202111527141.5申请日: 2021-12-14
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公开(公告)号: CN114351122B公开(公告)日: 2023-08-08
- 发明人: 唐电 , 杨彬 , 张单辉 , 许烁烁
- 申请人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 戴玲
- 主分类号: C23C16/54
- IPC分类号: C23C16/54 ; C23C16/46 ; C23C16/455 ; H01L21/677
摘要:
本发明公开了一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统,包括腔体、喷淋板、载板、加热基板和传输装置,传输装置包括外轴动力、内轴动力和多对磁流体传输机构,磁流体传输机构包括磁流体、内轴、外轴、传输轴和翻转板,外轴套在内轴上且二者可相对转动,磁流体套在外轴上且二者可相对转动,翻转板与内轴固定连接,传输轴可转动的设在翻转板上,传输轴与外轴通过啮合件配合,外轴动力用于驱动外轴转动,内轴动力用于驱动内轴转动,传输轴和翻转板设于腔体内,载板置于各传输轴上。本发明利用同心双轴磁流体结构,同时驱动载板的传输和提升,既能使实现载板传输,又能使载板在镀膜时脱离传输轴并与加热基板接触,简化了结构,降低了设备成本。
公开/授权文献
- CN114351122A 一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统 公开/授权日:2022-04-15
IPC分类: