本申请实施例涉及深紫外DUV连续波CW激光及产生DUV CW激光辐射的方法。一种深紫外DUV连续波CW激光包含：基波CW激光，其经配置以产生具有在约1μm与1.1μm之间的对应波长的基波频率；三次谐波产生器模块，其包含一或多个周期性极化的非线性光学NLO晶体，NLO晶体产生三次谐波及任选的二次谐波；及四次谐波产生器模块及五次谐波产生器中的一者。四次谐波产生器模块包含经配置以使基波频率与三次谐波组合以产生四次谐波的以基波频率谐振的腔。四次谐波产生器模块包含用于使基波频率与三次谐波组合以产生五次谐波的以基波频率谐振的腔或用于使二次谐波与三次谐波组合以产生五次谐波的以二次谐波频率谐振的腔。