发明授权
- 专利标题: 分段式真空作业设备及其使用方法
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申请号: CN202210309204.8申请日: 2022-03-28
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公开(公告)号: CN114412752B公开(公告)日: 2022-07-19
- 发明人: 陈鹏 , 曲东升 , 姜鹏 , 陈星 , 王洪兵
- 申请人: 常州铭赛机器人科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦
- 专利权人: 常州铭赛机器人科技股份有限公司
- 当前专利权人: 常州铭赛机器人科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦
- 代理机构: 常州至善至诚专利代理事务所
- 代理商 朱丽莎
- 主分类号: F04B37/14
- IPC分类号: F04B37/14 ; F04B25/00 ; F04B39/00 ; F04B49/22 ; E06B3/44 ; E05D15/16 ; E05F15/57 ; B05C15/00 ; B05C5/02 ; B05C13/00
摘要:
本发明涉及真空设备技术领域,本发明具体公开了一种分段式真空作业设备及其使用方法,分段式真空作业设备包括:进料腔室设置在作业腔室的一侧,进料腔室与作业腔室之间设有第一气动门,第一气动门用于打开或关闭作业腔室,出料腔室设置在作业腔室的另一侧,出料腔室与作业腔室之间设有第二气动门,第二气动门用于打开或关闭作业腔室,作业腔室与双级泵通过第一真空管道相连接,进料腔室与双级泵通过第二真空管道相连接,出料腔室与双级泵通过第三真空管道相连接;维持泵与作业腔室通过维持真空管道相连接;进料腔室的体积为V1,作业腔室的体积为V2,出料腔室的体积为V3,V2>V1=V3。本发明不仅可以降低功耗,节能减排,降低噪音,还有利于提高生产效率。
公开/授权文献
- CN114412752A 分段式真空作业设备及其使用方法 公开/授权日:2022-04-29