分段式真空作业设备及其使用方法
摘要:
本发明涉及真空设备技术领域,本发明具体公开了一种分段式真空作业设备及其使用方法,分段式真空作业设备包括:进料腔室设置在作业腔室的一侧,进料腔室与作业腔室之间设有第一气动门,第一气动门用于打开或关闭作业腔室,出料腔室设置在作业腔室的另一侧,出料腔室与作业腔室之间设有第二气动门,第二气动门用于打开或关闭作业腔室,作业腔室与双级泵通过第一真空管道相连接,进料腔室与双级泵通过第二真空管道相连接,出料腔室与双级泵通过第三真空管道相连接;维持泵与作业腔室通过维持真空管道相连接;进料腔室的体积为V1,作业腔室的体积为V2,出料腔室的体积为V3,V2>V1=V3。本发明不仅可以降低功耗,节能减排,降低噪音,还有利于提高生产效率。
公开/授权文献
0/0