本发明公开了一种基于柔性薄膜的扫描式测量装置及测量方法，装置包括顶层薄膜和底层薄膜，所述顶层薄膜和底层薄膜上分别印刷有若干导电线路，在顶层薄膜与底层薄膜之间，顶层薄膜上的导电线路与底层薄膜上的导电线路投影在同一平面上，投影面上顶层薄膜的导电线路分别与底层薄膜的导电线路相互交叉，每一个交叉点处设置传感器，所述顶层薄膜、传感器、底层薄膜热熔为整体的测量薄膜。本发明因为柔性印刷电路工艺、离散压电薄膜掩模印刷工艺的空间分辨率很高；整个薄膜的空间分辨率小于1mm，远远高于传统的单点测量，采用了扫描式测量，其M×N个测量点的导线数量只有M+N条导线，远远小于传统单点测试方案的数量，极大的节约了空间。