本发明涉及电解质电容技术领域，具体涉及一种具有强场稳定结构的多层复合薄膜及其制备方法，包括以下步骤：清洗衬底基片；通过磁控溅射的方法在衬底基片上依次溅射第一Al层、Ti层和第二Al层，得到三层复合薄膜；以得到的三层复合薄膜，进行阳极氧化，采用电流小于等于10mA，氧化电压小于等于1000V。本发明结构和制备工艺简单；通过调控溅射时间、阳极氧化时的电流和电压等参数，调控阳极氧化薄膜的厚度，以实现强场稳定结构的多层复合薄膜的制备；利用电化学处理法进行单次阳极氧化制备强场稳定结构的多层复合薄膜，有效提高了击穿强度和储能密度等性能。