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公开(公告)号:CN114836718A
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN202210509441.9
申请日:2022-05-10
申请人: 佛山科学技术学院
摘要: 本发明涉及电解质电容技术领域,具体涉及一种具有强场稳定结构的多层复合薄膜及其制备方法,包括以下步骤:清洗衬底基片;通过磁控溅射的方法在衬底基片上依次溅射第一Al层、Ti层和第二Al层,得到三层复合薄膜;以得到的三层复合薄膜,进行阳极氧化,采用电流小于等于10mA,氧化电压小于等于1000V。本发明结构和制备工艺简单;通过调控溅射时间、阳极氧化时的电流和电压等参数,调控阳极氧化薄膜的厚度,以实现强场稳定结构的多层复合薄膜的制备;利用电化学处理法进行单次阳极氧化制备强场稳定结构的多层复合薄膜,有效提高了击穿强度和储能密度等性能。
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公开(公告)号:CN114974892B
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202210652964.9
申请日:2022-06-08
申请人: 佛山科学技术学院
摘要: 本发明属于电容器技术领域,具体涉及一种Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器及其制备方法。本发明的Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中设有阳极氧化膜,且所述阳极氧化膜是通过上层膜、中层膜、下层膜共同阳极氧化而形成的,这种制备方法能够形成稳定的阳极氧化复合膜,在Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中,稳定的阳极氧化复合膜能够有效提高其击穿场强和储能密度等性能;并且通过对电流及电压的控制即可控制阳极氧化复合膜的厚度,因此本发明的制备方法简单且易于操控。
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公开(公告)号:CN115058117A
公开(公告)日:2022-09-16
申请号:CN202210778776.0
申请日:2022-06-30
申请人: 佛山科学技术学院
摘要: 本发明属于介电复合材料技术领域,尤其涉及一种耐超高温聚合物基介电储能纳米复合薄膜及其制备方法。本发明利用溶液共混法将二氧化钛纳米分散于聚酰亚胺(PI)溶液,后将混合液旋涂至基底得到复合薄膜,制备方法简易可控性强;本发明制备得到纳米TiO2/PI薄膜,利用二氧化钛纳米颗粒的高介电常数、宽温度范围及空心结构的特性,提高了PI薄膜的储能密度和介电常数,且高温条件下介电性能稳定,是一种耐超高温聚合物基介电储能纳米复合薄膜,可应用于高温储能器件。
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公开(公告)号:CN114974892A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202210652964.9
申请日:2022-06-08
申请人: 佛山科学技术学院
摘要: 本发明属于电容器技术领域,具体涉及一种Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器及其制备方法。本发明的Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中设有阳极氧化膜,且所述阳极氧化膜是通过上层膜、中层膜、下层膜共同阳极氧化而形成的,这种制备方法能够形成稳定的阳极氧化复合膜,在Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中,稳定的阳极氧化复合膜能够有效提高其击穿场强和储能密度等性能;并且通过对电流及电压的控制即可控制阳极氧化复合膜的厚度,因此本发明的制备方法简单且易于操控。
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