- 专利标题: MXene/n-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法及探测器
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申请号: CN202210555083.5申请日: 2022-05-20
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公开(公告)号: CN114927596B公开(公告)日: 2024-08-13
- 发明人: 冯文林 , 杨晓占 , 熊郭亮 , 肖浏
- 申请人: 重庆理工大学
- 申请人地址: 重庆市巴南区李家沱红光大道69号
- 专利权人: 重庆理工大学
- 当前专利权人: 重庆理工大学
- 当前专利权人地址: 重庆市巴南区李家沱红光大道69号
- 代理机构: 重庆博凯知识产权代理有限公司
- 代理商 陆瑞
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/028 ; H01L31/032 ; H01L31/0336 ; H01L31/109
摘要:
本发明公开了一种MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,获取Ti3C2Tx胶体溶液,以及掺有Sb的n‑Ge衬底,清除n‑Ge衬底表面杂质,然后将Ti3C2Tx胶体溶液覆在n‑Ge衬底上,在室温下干燥至恒重后形成Ti3C2Tx膜层使得Ti3C2Tx膜层与n‑Ge衬底形成肖特基异质结。本发明还公开了一种通过上述方法制得而成的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器,该探测器结构简单,工作稳定,检测效果好,响应时间极快,精度和可靠性高,还具有体积小、重量轻的优点,另外传感器制作容易,成本低廉。
公开/授权文献
- CN114927596A MXene/n-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法及探测器 公开/授权日:2022-08-19
IPC分类: