MXene/n-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法及探测器
摘要:
本发明公开了一种MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,获取Ti3C2Tx胶体溶液,以及掺有Sb的n‑Ge衬底,清除n‑Ge衬底表面杂质,然后将Ti3C2Tx胶体溶液覆在n‑Ge衬底上,在室温下干燥至恒重后形成Ti3C2Tx膜层使得Ti3C2Tx膜层与n‑Ge衬底形成肖特基异质结。本发明还公开了一种通过上述方法制得而成的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器,该探测器结构简单,工作稳定,检测效果好,响应时间极快,精度和可靠性高,还具有体积小、重量轻的优点,另外传感器制作容易,成本低廉。
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