发明公开
- 专利标题: 一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺
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申请号: CN202210679593.3申请日: 2022-06-15
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公开(公告)号: CN115008342A公开(公告)日: 2022-09-06
- 发明人: 李加海 , 杨慧明 , 李元祥
- 申请人: 安徽禾臣新材料有限公司
- 申请人地址: 安徽省马鞍山市和县经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房
- 专利权人: 安徽禾臣新材料有限公司
- 当前专利权人: 安徽禾臣新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省马鞍山市和县经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房
- 代理机构: 北京和联顺知识产权代理有限公司
- 代理商 陈菊
- 主分类号: B24B37/22
- IPC分类号: B24B37/22 ; B24B37/26 ; B24D11/00 ; H01L21/02
摘要:
本发明公开了一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺,属于无蜡垫技术领域,包括基垫层,所述基垫层的下方连接有抛光层,基垫层与抛光层中间开设有中空槽,中空槽的内部设置有松紧调整组件,所述基垫层的上方内设置有吸附层,基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。本发明一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺,有效提高抛光层内部强度,增加其使用寿命,转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷,边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下,边缘向上翘,由多组加固杆进行支撑加固,有效保证抛光层表面平整度,防止表面松弛抛光时挤压导致崩角,增加无蜡垫的质量,有效对转杆限位,提高转杆调整后的稳定性,有效防止杆体脱位。
公开/授权文献
- CN115008342B 一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺 公开/授权日:2023-08-25