一种蓝宝石防护盖板抛光用阻尼布及其生产工艺

    公开(公告)号:CN114952642B

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202210681527.X

    申请日:2022-06-15

    IPC分类号: B24D11/02 B24D11/00

    摘要: 本发明公开了一种蓝宝石防护盖板抛光用阻尼布及其生产工艺,属于阻尼布技术领域,包括上层、粘合层、中间层和下层,其中,中间层的上下两面上均设有粘合层,中间层通过两侧的粘合层分别与上层和下层固定并压紧;所述上层和下层上设有凹槽,并且凹槽呈矩形分布,上层和下层的凹槽内插入有抛光阻尼块。本发明提出的一种蓝宝石防护盖板抛光用阻尼布及其生产工艺,通过抛光层和发泡层结合在一起,抛光层用于抛光,发泡层进行过滤,将部分的研磨剂中液体通过抛光阻尼块渗入微孔然后流入横槽道和纵槽道排出,而抛光阻尼块将部分抛光液中混合的杂质进行过滤,方便后续研磨剂中液体体的循环使用,将凹槽中流入的研磨剂中液体快速排出,节省工序。

    一种基于石英基板材料的抛光工艺

    公开(公告)号:CN115415922B

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202211159728.X

    申请日:2022-09-22

    摘要: 本发明公开了一种基于石英基板材料的抛光工艺,属于抛光设备技术领域,包括一种抛光装置,抛光装置包括抛光台、可调式抛光机构和隔音遮挡外罩,包括如下步骤:将石英基板材料放置在抛光台上,使隔音遮挡外罩位于可调式抛光机构的外围;可调式抛光机构调整抛光位置,利用可调式抛光机构对石英基板材料进行贴合抛光。为了解决易碰伤操作人员,且污染环境,不能保证抛光轮始终贴合抛光,其抛光效果差的问题,本发明的基于石英基板材料的抛光工艺,避免废料四溅及污染环境,减少操作人员被碰伤事件的发生,减小抛光噪音,利用可调式抛光机构对石英基板材料进行贴合抛光,对于不平整面,抛光轮可适用,其适用范围广,其抛光效果好。

    一种高精度石英基板镀膜及其生产工艺

    公开(公告)号:CN115341183A

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202211013170.4

    申请日:2022-08-23

    摘要: 本发明公开了一种高精度石英基板镀膜及其生产工艺,属于石英基板镀膜技术领域。本发明的一种高精度石英基板镀膜及其生产工艺,所述镀膜设置为双层结构,分别为表层的氮化铬镀层以及底层的离型复合镀层。为解决现有技术中的光掩膜所需的石英基材在长时间使用的过程中会受到蚀刻液的影响,从而导致其表面出现磨损情况,一旦基材出现磨损,整个掩膜版结构便无法再投入使用的问题,离型复合镀层是由纯铬和低晶聚四氟乙烯涂层组合而成,聚四氟乙烯涂层可以对石英基材起到一个保护的作用,避免在后续蚀刻的过程中液体对基材的表面造成腐蚀,去除低晶聚四氟乙烯涂层时,只需将基材放入到加热箱中加热便可以直接分解成气体,从而实现无伤脱模的操作。

    一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺

    公开(公告)号:CN114918823B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202210553914.5

    申请日:2022-05-20

    IPC分类号: B24B37/11 B24D3/00 B24D18/00

    摘要: 本发明公开了一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺,属于抛光垫领域。本发明的一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺,所述第二抛光白垫与第三抛光白垫之间设置有第一抛光垫连接板,所述第一抛光白垫与第二抛光白垫之间设置有第二抛光垫连接板。本发明解决了现有技术中抛光垫适应性差,无法配合不同的工件同步工作,且抛光效果一般,不具备足够的韧性提高抛光质量的问题,在进行抛光研磨工作时,第三抛光白垫的外部受到抛光元件的挤压,受到的压力可经过三层的缓冲,可通过第一抛光垫连接板和第二抛光垫连接板内部本身的弹性,进一步提高高速研磨过程中的缓冲能力,提高抛光研磨效果,有效提升抛光的工作质量。

    一种石英基板高吸附性吸附垫及其制备工艺

    公开(公告)号:CN114683167B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202210450984.8

    申请日:2022-04-26

    摘要: 本发明公开了一种石英基板高吸附性吸附垫及其制备工艺,涉及吸附垫技术领域。包括石英基板层、连接层和多孔吸附层,所述石英基板层通过连接层与多孔吸附层连接,石英基板层靠近多孔吸附层的一侧设置有环形分布的支撑凸点,支撑凸点呈同心圆分布,同一圆形上的支撑凸点高度相同,从石英基板层边缘向圆心方向上的支撑凸点高度递减。本发明提出的一种石英基板高吸附性吸附垫及其制备工艺,设置的石英基板层上连接有支撑凸点和支撑圈,通过支撑凸点,能够防止第三吸附层受压变形,从而提高吸附垫的稳定性,能够在保证高吸附性的同时,减小吸附垫的形变,利用枣木和梨木材质坚硬,有韧性,不易折断的特点,提高了石英基板层的硬度。

    一种高精度石英基板涂胶及其生产工艺

    公开(公告)号:CN115793397A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211509391.0

    申请日:2022-11-29

    摘要: 本发明公开了一种高精度石英基板涂胶及其生产工艺,涉及石英基本涂胶技术领域。一种高精度石英基板涂胶,所述涂胶设置有双层结构,分别为与石英基板材料3的外表面贴合的第一胶层以及与第一胶层连接的第二胶层,第二胶层的占宽比大于第一胶层的占宽比;所述第一胶层由以下重量份材料制成:耐高温硅树脂10‑20份、甲酚醛树脂30‑50份、感光剂11‑13份和添加剂65‑70份。本发明提出的一种高精度石英基板涂胶及其生产工艺,涂胶设置有双层结构,在制备第一胶层的材料中增加了耐高温硅树脂材料,能耐高温,抗冲击,在对第二胶层进行加压时,第一胶层不易发生形变,保证只对第二胶层实现占宽增加,从而实现涂胶图形形状达到倒T型图形。

    一种基于石英基板材料的抛光工艺

    公开(公告)号:CN115415922A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211159728.X

    申请日:2022-09-22

    摘要: 本发明公开了一种基于石英基板材料的抛光工艺,属于抛光设备技术领域,包括一种抛光装置,抛光装置包括抛光台、可调式抛光机构和隔音遮挡外罩,包括如下步骤:将石英基板材料放置在抛光台上,使隔音遮挡外罩位于可调式抛光机构的外围;可调式抛光机构调整抛光位置,利用可调式抛光机构对石英基板材料进行贴合抛光。为了解决易碰伤操作人员,且污染环境,不能保证抛光轮始终贴合抛光,其抛光效果差的问题,本发明的基于石英基板材料的抛光工艺,避免废料四溅及污染环境,减少操作人员被碰伤事件的发生,减小抛光噪音,利用可调式抛光机构对石英基板材料进行贴合抛光,对于不平整面,抛光轮可适用,其适用范围广,其抛光效果好。

    一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺

    公开(公告)号:CN115008342A

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202210679593.3

    申请日:2022-06-15

    摘要: 本发明公开了一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺,属于无蜡垫技术领域,包括基垫层,所述基垫层的下方连接有抛光层,基垫层与抛光层中间开设有中空槽,中空槽的内部设置有松紧调整组件,所述基垫层的上方内设置有吸附层,基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。本发明一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺,有效提高抛光层内部强度,增加其使用寿命,转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷,边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下,边缘向上翘,由多组加固杆进行支撑加固,有效保证抛光层表面平整度,防止表面松弛抛光时挤压导致崩角,增加无蜡垫的质量,有效对转杆限位,提高转杆调整后的稳定性,有效防止杆体脱位。