一种并联FRD的双芯片IGBT结构及制作方法
摘要:
本发明提供一种并联FRD的双芯片IGBT结构及制作方法,该方法包括:提供第一导电类型衬底,衬底包括IGBT形成区域和FRD形成区域;于FRD形成区域的衬底中形成第二导电类型掺杂的FRD极区;于IGBT形成区域的衬底中形成栅极结构;于IGBT形成区域的衬底中形成第二导电类型掺杂的阱区,并于阱区中形成第一导电类型掺杂的发射区;于发射区上形成发射极金属层,于FRD极区上形成FRD第一电极;于衬底远离发射区的一面形成背面金属层。本发明通过于同一衬底上形成IGBT芯片和匹配的FRD芯片,能够减少封装上芯次数,降低封装面积;并且,双芯片设计能够降低芯片边缘和中间位置的应力,提高生产良率。
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