- 专利标题: 一种并联FRD的双芯片IGBT结构及制作方法
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申请号: CN202211139563.X申请日: 2022-09-19
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公开(公告)号: CN115483105B公开(公告)日: 2023-05-05
- 发明人: 郭依腾 , 侯晓伟 , 罗杰馨 , 柴展
- 申请人: 上海功成半导体科技有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J2620室
- 专利权人: 上海功成半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 上海功成半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J2620室
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L21/331
- IPC分类号: H01L21/331 ; H01L29/739 ; H01L27/06
摘要:
本发明提供一种并联FRD的双芯片IGBT结构及制作方法,该方法包括:提供第一导电类型衬底,衬底包括IGBT形成区域和FRD形成区域;于FRD形成区域的衬底中形成第二导电类型掺杂的FRD极区;于IGBT形成区域的衬底中形成栅极结构;于IGBT形成区域的衬底中形成第二导电类型掺杂的阱区,并于阱区中形成第一导电类型掺杂的发射区;于发射区上形成发射极金属层,于FRD极区上形成FRD第一电极;于衬底远离发射区的一面形成背面金属层。本发明通过于同一衬底上形成IGBT芯片和匹配的FRD芯片,能够减少封装上芯次数,降低封装面积;并且,双芯片设计能够降低芯片边缘和中间位置的应力,提高生产良率。
公开/授权文献
- CN115483105A 一种并联FRD的双芯片IGBT结构及制作方法 公开/授权日:2022-12-16
IPC分类: