发明公开
CN115702473A 光电辅助等离子体点燃
审中-实审
- 专利标题： 光电辅助等离子体点燃
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申请号： CN202180039950.3申请日： 2021-05-21
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公开(公告)号： CN115702473A公开(公告)日： 2023-02-14
- 发明人: 陈利 , 拉梅什·钱德拉塞卡拉 , 肖恩·泰勒·史密斯 , 崎山行则 , 亚伦·德宾 , 乔恩·亨利
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理商 樊英如; 张静
- 优先权： 63/033,507 20200602 US
- 国际申请： PCT/US2021/033524 2021.05.21
- 国际公布： WO2021/247249 EN 2021.12.09
- 进入国家日期： 2022-12-02
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
一种衬底处理系统包含气体源、RF源、以及光源。所述气体源供应第一气体至所述衬底处理系统的处理模块。所述RF源在供应所述第一气体至所述衬底处理系统的所述处理模块时供应RF功率至所述处理模块以产生等离子体。所述光源被耦合至所述处理模块以在所述等离子体产生期间将光导入所述处理模块中。
