一种Sb-Te-C相变存储材料及其制备方法和应用
摘要:
本发明属于微电子技术领域,更具体地,涉及一种Sb‑Te‑C相变存储材料及其制备方法和应用。本发明Sb‑Te‑C相变存储材料,其化学组成通式为(SbiTej)100‑xCx,其中x,i和j均表示原子百分比,0<x≤30,0<i≤50,50≤j<100,i+j=100。与未掺杂C的Sb‑Te相变材料相比,本发明提供的Sb‑Te‑C相变薄膜材料电阻随温度变化曲线随着C浓度的增加逐渐趋向于缓变,具有应用于人工神经网络与类脑计算的潜力;且所述Sb‑Te‑C相变材料的电阻窗口以及电阻绝对值增大,意味着存储数据的区分程度增大,操作功耗降低;另外所述Sb‑Te‑C相变材料的相变温度得到较大提升,热稳定性增强,数据保持力增强。
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