发明公开
- 专利标题: 一种Sb-Te-C相变存储材料及其制备方法和应用
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申请号: CN202211482089.0申请日: 2022-11-24
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公开(公告)号: CN115835770A公开(公告)日: 2023-03-21
- 发明人: 徐明 , 沈颖华 , 麦贤良 , 王欢 , 刘永鹏 , 缪向水
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 武汉华之喻知识产权代理有限公司
- 代理商 彭翠; 张彩锦
- 主分类号: H10N70/20
- IPC分类号: H10N70/20 ; H10B63/10
摘要:
本发明属于微电子技术领域,更具体地,涉及一种Sb‑Te‑C相变存储材料及其制备方法和应用。本发明Sb‑Te‑C相变存储材料,其化学组成通式为(SbiTej)100‑xCx,其中x,i和j均表示原子百分比,0<x≤30,0<i≤50,50≤j<100,i+j=100。与未掺杂C的Sb‑Te相变材料相比,本发明提供的Sb‑Te‑C相变薄膜材料电阻随温度变化曲线随着C浓度的增加逐渐趋向于缓变,具有应用于人工神经网络与类脑计算的潜力;且所述Sb‑Te‑C相变材料的电阻窗口以及电阻绝对值增大,意味着存储数据的区分程度增大,操作功耗降低;另外所述Sb‑Te‑C相变材料的相变温度得到较大提升,热稳定性增强,数据保持力增强。